氣體流動(dòng)法薄膜孔徑分析儀由橢偏系統、氣液混合系統、電氣控制系統、控制軟件等組成，具有橢偏儀的所有功能，可以檢測200mm及以下尺寸樣品，可擴展至300mm，無(wú)需真空系統，整個(gè)吸附、脫附過(guò)程只需要幾分鐘即可完成，數據庫中包含常規薄膜材料的光學(xué)數據，方便對設備進(jìn)行調試、校準，配有全自動(dòng)控制軟件，可以全自動(dòng)控制樣品的吸附、脫附過(guò)程，并完成數據分析。

　　分析計算軟件用于數據分析和制圖，可以分析孔徑大小及分布、平均孔徑大小、孔隙率等參數。當壓力測量與壓力源在同一直線(xiàn)上時(shí)，考慮由于流動(dòng)氣體產(chǎn)生的不準確性，以獲得數據。壓力越低，流速越高，誤差越大，在這種情況下，執行校準以校正壓力讀數，對于特別是大孔徑的樣品材料很重要，這種方法的結果是高度準確和可重復的孔徑分析結果。

　　主要特點(diǎn)：

　　1.從真空開(kāi)始的可連續或步進(jìn)加壓。

　　2.全自動(dòng)計算機控制兩個(gè)低壓站可同時(shí)向樣品池充汞。

　　3.1500psia壓力傳感器標準可獲得高壓力范圍的分辨率。

　　4.Autospeed自動(dòng)控制系統可針對樣品注汞/排汞的特性調節變壓速。

　　5.汞蒸汽防護系統，實(shí)驗無(wú)污染。

　　6.雙保險內部鎖定：樣品池蓋未鎖緊時(shí)低壓站不能操作，避免汞泄露。

　　7.*的樣品池傾斜系統可幫助*抽干剩余汞并防止潛在的汞飛濺。

　　8.密閉型低壓注汞，防止操作者直接暴露于汞前。

　　9.氣體流動(dòng)法薄膜孔徑分析儀自動(dòng)液壓油循環(huán)過(guò)濾系統。